一种晶圆切边设备
申请人信息
- 申请人:吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司
- 申请人地址:214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号
- 发明人: 吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆切边设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420780479.4 |
| 申请日 | 2024/4/15 |
| 公告号 | CN222051711U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司 |
| 发明人 | 吴俊逸; 张鹏飞 |
| 地址 | 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号 |
摘要文本
吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种晶圆切边设备。该晶圆切边设备包括：晶圆输送机构，具有彼此相对的第一端和第二端，晶圆输送机构用于将晶圆在第一端与第二端之间进行输送；对中定位机构，位于第一端在第一方向上的一侧，用于对晶圆进行对中定位；第一传输手，可受控地在对中定位机构与第一端之间移动，以将对中定位机构上的晶圆转移至第一端上；晶圆切边机构，对应于第二端布设，用于对位于第二端上的晶圆进行切边加工；清洗模块，位于第一端在第二方向上的一侧，用于对晶圆进行清洗；第二传输手，可受控地在第一端与清洗模块之间移动，以将第一端上的晶圆转移至清洗模块；及晶圆进出机构，用于向对中定位机构提供晶圆，还用于接收清洗模块上的晶圆。
专利主权项内容
1.一种晶圆切边设备，其特征在于，包括：
晶圆输送机构(30)，具有彼此相对的第一端(31)和第二端(32)，所述晶圆输送机构(30)用于将晶圆在所述第一端(31)与所述第二端(32)之间进行输送；
对中定位机构(20)，位于所述第一端(31)在第一方向(X1)上的一侧，用于对晶圆进行对中定位；
第一传输手(40)，可受控地在所述对中定位机构(20)与所述第一端(31)之间移动，以将所述对中定位机构(20)上的晶圆转移至所述第一端(31)上；
晶圆切边机构(50)，对应于所述第二端(32)布设，用于对位于所述第二端(32)上的晶圆进行切边加工；
清洗模块(60)，位于所述第一端(31)在与所述第一方向(X1)垂直的第二方向(X2)上的一侧，用于对晶圆进行清洗；
第二传输手(70)，可受控地在所述第一端(31)与所述清洗模块(60)之间移动，以将所述第一端(31)上的晶圆转移至所述清洗模块(60)；及
晶圆进出机构(10)，用于向所述对中定位机构(20)提供晶圆，还用于接收所述清洗模块(60)上的晶圆；
其中，所述晶圆输送机构(30)的所述第二端(32)、所述晶圆输送机构(30)的所述第一端(31)和所述对中定位机构(20)依次沿所述第一方向(X1)布置。