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一种便于安装调整晶圆盒的结构
申请人信息
- 申请人:上海芯东来半导体科技有限公司
- 申请人地址:200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
- 发明人: 上海芯东来半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种便于安装调整晶圆盒的结构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420545144.4 |
| 申请日 | 2024/3/20 |
| 公告号 | CN222051724U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 上海芯东来半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 闵中华; 王野; 肖博翰; 王印勋; 毕厚海 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 |
摘要文本
上海芯东来半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种便于安装调整晶圆盒的结构，涉及半导体运输技术领域，包括晶圆盒平台座，所述晶圆盒平台座顶部固定有第一定位块，所述第一定位块下方设有两个镜像安装的第二定位块，所述晶圆盒平台座内部靠近第二定位块处设有滑槽，所述滑槽内部滑动连接两块滑块，两个所述滑块相互靠近一侧均连接有齿条，两根所述齿条共同啮合连接中间的齿轮。本实用新型，通过正反转电机驱动转轴旋转，使得转轴带动齿轮旋转，从而可以带动两根齿条上的滑块相互靠近或远离，同时滑块通过连接杆和外侧的第二定位块连接，因此，可以快速调整两个第二定位块之间的距离，使得安装不同尺寸的晶圆盒更加方便。
专利主权项内容
1.一种便于安装调整晶圆盒的结构，包括晶圆盒平台座(1)，其特征在于：所述晶圆盒平台座(1)顶部固定有第一定位块(2)，所述第一定位块(2)下方设有两个镜像安装的第二定位块(3)，所述晶圆盒平台座(1)内部靠近第二定位块(3)处设有滑槽(8)，所述滑槽(8)内部滑动连接两块滑块(9)，两个所述滑块(9)相互靠近一侧均连接有齿条(11)，两根所述齿条(11)共同啮合连接中间的齿轮(12)，且两个齿条(11)沿齿轮(12)轴对称设置，所述齿轮(12)上装有转轴(13)，所述转轴(13)远离齿轮(12)一端连接正反转电机(14)的输出端。