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一种新型晶圆上下片装置
申请人信息
- 申请人:上海福赛特技术股份有限公司
- 申请人地址:201712 上海市青浦区久业路338号2幢
- 发明人: 上海福赛特技术股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种新型晶圆上下片装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420442182.7 |
| 申请日 | 2024/3/7 |
| 公告号 | CN222051723U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 上海福赛特技术股份有限公司 |
| 发明人 | 刘纯君; 王乐 |
| 地址 | 上海市青浦区久业路338号2幢 |
摘要文本
上海福赛特技术股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体设备，公开了一种新型晶圆上下片装置，包括晶圆取放机构、晶圆上下片机构和盘取放机构，所述晶圆取放机构设置在卡塞和晶圆定位机构之间，用于实现晶圆在卡塞和晶圆定位机构之间的传输；所述晶圆上下片机构设置在晶圆定位机构和盘定位机构之间，用于将晶圆从晶圆定位机构上一个接一个运输至盘定位机构中载盘的指定位置上，或者将载盘中的晶圆一个接一个运输至晶圆定位机构上；所述盘取放机构设置在PVD设备和盘定位机构之间，用于实现载盘在PVD设备和盘定位机构之间的传输；所述晶圆定位机构用于实现晶圆的位置调整，所述盘定位机构用于实现载盘的位置调整。。来自马-克-数-据-官网
专利主权项内容
1.一种新型晶圆上下片装置，其特征在于：包括晶圆取放机构、晶圆上下片机构和盘取放机构，所述晶圆取放机构设置在卡塞和晶圆定位机构之间，用于实现晶圆在卡塞和晶圆定位机构之间的传输；
所述晶圆上下片机构设置在晶圆定位机构和盘定位机构之间，用于将晶圆从晶圆定位机构上一个接一个运输至盘定位机构中载盘的指定位置上，或者将载盘中的晶圆一个接一个运输至晶圆定位机构上；
所述盘取放机构设置在PVD设备和盘定位机构之间，用于实现载盘在PVD设备和盘定位机构之间的传输；
所述晶圆定位机构用于实现晶圆的位置调整，所述盘定位机构用于实现载盘的位置调整。