← 返回列表
一种晶圆传送机构
申请人信息
- 申请人:拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
- 申请人地址:110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
- 发明人: 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆传送机构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202322697023.X |
| 申请日 | 2023/10/8 |
| 公告号 | CN222051717U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 陈波; 周磊; 李丹; 许铁柱 |
| 地址 | 辽宁省沈阳市浑南区水家900号 |
摘要文本
拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种晶圆传送机构。所述晶圆传送机构包括负载锁定传输腔及机械臂。所述负载锁定腔用于从设备前端模块获取待加工的晶圆，和/或向所述设备前端模块传输完成加工的晶圆。所述传输腔经由第一开口连接所述负载锁定腔，并经由至少一个第二开口连接对应数量的工艺腔。所述机械臂经由设于所述传输腔的第三开口伸入所述传输腔，用于从所述负载锁定腔获取待加工的晶圆，并将所述待加工的晶圆传输到对应的工艺腔进行加工，和/或从所述工艺腔获取完成加工的晶圆，并将所述完成加工的晶圆返回到所述负载锁定腔。所述第三开口的内壁与所述机械臂的最大活动区域保持0.1～5mm的间隙。
专利主权项内容
1.一种晶圆传送机构，其特征在于，包括：
负载锁定腔，用于从设备前端模块获取待加工的晶圆，和/或向所述设备前端模块传输完成加工的晶圆；
传输腔，经由第一开口连接所述负载锁定腔，并经由至少一个第二开口连接对应数量的工艺腔；以及
机械臂，经由设于所述传输腔的第三开口伸入所述传输腔，用于从所述负载锁定腔获取待加工的晶圆，并将所述待加工的晶圆传输到对应的工艺腔进行加工，和/或从所述工艺腔获取完成加工的晶圆，并将所述完成加工的晶圆返回到所述负载锁定腔，其中，所述第三开口的内壁与所述机械臂的最大活动区域保持0.1～5mm的间隙。