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一种机械臂抓取晶圆盒的卡爪结构

申请号: CN202421103556.9
申请人: 北京知形科技有限公司
更新日期: 2026-04-25

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种机械臂抓取晶圆盒的卡爪结构
专利类型 实用新型
申请号 CN202421103556.9
申请日 2024/5/20
公告号 CN222060355U
公开日 2024/11/26
IPC主分类号 B25J15/00
权利人 北京知形科技有限公司
发明人 张贵娜; 高博扬
地址 北京市房山区弘安路85号院2号楼2层201室

摘要文本

北京知形科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型提供了一种机械臂抓取晶圆盒的卡爪结构,包括与AGV小车上的机械臂相连的卡爪,其特征在于,所述卡爪前端具有用于卡持晶圆盒的卡持部,所述卡持部的形状为U形,所述卡爪上安装有支架,所述支架上安装有安装板,所述安装板上安装有用于定位晶圆盒位置的深度摄像头,所述安装板上还安装用于环境补光的补光灯。

专利主权项内容

1.一种机械臂抓取晶圆盒的卡爪结构,包括与AGV小车上的机械臂相连的卡爪(1),其特征在于,所述卡爪(1)前端具有用于卡持晶圆盒(8)的卡持部(1a),所述卡持部(1a)的形状为U形,所述卡爪(1)上安装有支架(3),所述支架(3)上安装有安装板(4),所述安装板(4)上安装有用于定位晶圆盒(8)位置的深度摄像头(5),所述安装板(4)上还安装用于环境补光的补光灯(6)。 来自马-克-数-据-官网