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一种载板及真空镀膜装置
申请人信息
- 申请人:苏州迈为科技股份有限公司; 苏州迈正科技有限公司
- 申请人地址:215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号
- 发明人: 苏州迈为科技股份有限公司; 苏州迈正科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种载板及真空镀膜装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420537330.3 |
| 申请日 | 2024/3/20 |
| 公告号 | CN222043346U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | C23C16/458 |
| 权利人 | 苏州迈为科技股份有限公司; 苏州迈正科技有限公司 |
| 发明人 | 孙健; 杨艳红; 刘亚南; 陈晨; 王炯 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号; 江苏省苏州市吴江区吴江经济技术开发区龙桥路、芦荡路交叉口西北侧 |
摘要文本
苏州迈为科技股份有限公司; 苏州迈正科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种载板及真空镀膜装置，涉及真空镀膜设备技术领域。本实用新型的载板包括框架，框架可以包括置于两侧的导轨条、至少一条筋条和至少一条横梁。每一筋条均与导轨条平行设置。每一横梁的两端均与导轨条连接，并且中间与筋条连接，横梁包括上表面向上凸出的弧形结构的第一横梁。本实用新型的框架可以包括导轨条、筋条和横梁，横梁包括第一横梁，第一横梁为上表面向上凸出的弧形结构，可以抵抗置于框架上方物品重量或自身重量导致的变形，保证框架表面平整度，使得镀膜更均匀。 来源：
专利主权项内容
1.一种载板，包括用于承载待镀基片的托盘和用于承载托盘的框架，其特征在于，所述框架包括：
置于两侧的导轨条；
至少一条筋条，每一所述筋条均与所述导轨条平行设置；
至少一条横梁，每一所述横梁的两端均与所述导轨条连接，并且中间与所述筋条连接，所述横梁包括上表面为向上凸出的弧形结构的第一横梁。 更多数据：