一种磁控、蒸镀、电子束高效物理层积镀膜装置

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深圳市镭煜科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种磁控、蒸镀、电子束高效物理层积镀膜装置，包括真空腔体，真空腔体内部设置有放卷辊和收卷辊，真空腔体内部沿薄膜走带路径依次设置有磁控溅射镀膜机构、电子束镀膜机构和蒸发镀膜机构，依次在薄膜的同一膜面上镀有第一金属层、第二金属层和第三金属层，第一金属层的厚度、第二金属层的厚度和第三金属层的厚度依次增大。本实用新型通过结合多种镀膜技术，充分发挥各自的优势，提高镀膜效率和质量。先使用磁控溅射镀膜机构为薄膜打底，再通过电子束镀膜机构增厚金属层，可以增加其耐热性能，减少后续镀膜过程中的孔洞产生，最后通过蒸发镀膜机构完成镀膜，可以快速完成整个镀膜过程，提高生产效率。