← 返回列表
一种用于提高靶材镀膜均匀性的圆形靶材
申请人信息
- 申请人:宁波江丰电子材料股份有限公司
- 申请人地址:315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
- 发明人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于提高靶材镀膜均匀性的圆形靶材 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420163315.7 |
| 申请日 | 2024/1/23 |
| 公告号 | CN222226530U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 发明人 | 姚力军; 潘杰; 王锦; 王学泽 |
| 地址 | 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 |
摘要文本
宁波江丰电子材料股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种用于提高靶材镀膜均匀性的圆形靶材，所述圆形靶材包括中心靶区以及沿远离径向方向依次分布的至少2个圆环靶区；中心靶区与各圆环靶区的晶粒尺寸互不相同。本实用新型通过设置中心靶区与各圆环靶区的晶粒尺寸互不相同，以此满足其在不同位置内部有不同的织构，避免了圆形靶材在溅射过程中由于不同位置磁铁强度的不同，造成溅射后期镀膜均匀性差的问题。
专利主权项内容
1.一种用于提高靶材镀膜均匀性的圆形靶材，其特征在于，所述圆形靶材包括中心靶区以及沿远离径向方向依次分布的至少2个圆环靶区；
中心靶区与各圆环靶区的晶粒尺寸互不相同。