一种新型电磁靶

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深圳市三束科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及磁控溅射技术领域，公开了一种新型电磁靶，包括电路板背板，所述电路板背板的两面分别连接有铜电路板一和铜电路板二，所述铜电路板二上安装有电控元件，所述铜电路板一上安装有多个由多路功率控制器调节频率的电磁铁，所述铜电路板一上开设有第一安装室，所述电磁铁通过插接件安装在第一安装室的内部，本实用新型通过使用圆柱体或长方体的直流高频电磁铁，通过插件装配在电路板上，并采用多路功率控制器对每个电磁铁进行功率调节，且所有电磁铁的通电频率可调，且可单独调整每个电磁铁的磁场，实现无极调整电磁靶的磁场大小，使得电磁靶磁场的均匀性达到最佳，真空镀膜效果好。