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一种分水器、样品台组件及MPCVD装置
申请人信息
- 申请人:成都沃特塞恩电子技术有限公司
- 申请人地址:610041 四川省成都市高新区益州大道中段1800号天府软件园G区G3栋3楼301号
- 发明人: 成都沃特塞恩电子技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种分水器、样品台组件及MPCVD装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420325189.0 |
| 申请日 | 2024/2/22 |
| 公告号 | CN222226552U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C23C16/511 |
| 权利人 | 成都沃特塞恩电子技术有限公司 |
| 发明人 | 黄春林; 刘文科; 胡宗义; 李俊宏 |
| 地址 | 四川省成都市高新区益州大道中段1800号3栋3层301号 |
摘要文本
成都沃特塞恩电子技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及微波等离子体技术领域，具体而言，涉及一种分水器、样品台组件及MPCVD装置，所述分水器包括呈圆盘状结构的分水器本体，所述圆盘状结构的顶部设置有通孔，所述圆盘状结构的底部设置有连接部，所述连接部之间间隔设置并形成通道，提供了一种无需加工散热水道的、结构简单的分水器，所述样品台组件包括所述分水器，所述MPCVD装置包括所述样品台组件。
专利主权项内容
1.一种分水器(1)，其特征在于：包括呈圆盘状结构的分水器本体(2)，所述圆盘状结构的顶部设置有通孔(3)，所述圆盘状结构的底部设置有连接部(4)，所述连接部(4)之间间隔设置并形成通道(5)。