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承载装置及化学气相沉积设备
申请人信息
- 申请人:深圳市金洲精工科技股份有限公司
- 申请人地址:518116 广东省深圳市龙岗区中心城龙城北路高科技工业园区
- 发明人: 深圳市金洲精工科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 承载装置及化学气相沉积设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420322729.X |
| 申请日 | 2024/2/21 |
| 公告号 | CN222226550U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C23C16/458 |
| 权利人 | 深圳市金洲精工科技股份有限公司 |
| 发明人 | 王骏; 张贺勇 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区中心城龙城北路高科技工业园区 |
摘要文本
深圳市金洲精工科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及化学气相沉积技术领域。本申请实施例提供了承载装置及化学气相沉积设备。通过在承载件的周缘围设反射件，限定出容纳腔，使得承载件承载的待沉积的目标件能够位于容纳腔内。由于反射件能够朝向容纳腔反射热辐射，使得在沉积过程中，产生的用于加热的热辐射能够经由反射件反射到待沉积的目标件上，进而提高了热辐射能量的利用率。同时，反射件也阻碍了容纳腔内的活性反应气体的扩散，进而提高了容纳腔内的活性反应气体的浓度，提升了沉积速率。由此，不仅降低了能耗成本，也提高了生产效率。
专利主权项内容
1.一种承载装置，用于设于化学气相沉积设备的处理腔内，其特征在于，所述承载装置包括：
承载件，用于承载待沉积的目标件；及
反射件，围设于所述承载件的周缘，所述反射件与所述承载件共同限定出容纳腔，所述反射件围设出连通所述容纳腔的开口，所述开口与所述承载件相对设置；所述反射件配置为能够朝向所述容纳腔反射热辐射。