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一种精准调谐的MPCVD装置
申请人信息
- 申请人:北方工业大学
- 申请人地址:100144 北京市石景山区晋元庄路5号北方工业大学
- 发明人: 北方工业大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种精准调谐的MPCVD装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420906035.0 |
| 申请日 | 2024/4/28 |
| 公告号 | CN222226553U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C23C16/511 |
| 权利人 | 北方工业大学 |
| 发明人 | 安康; 许光宇; 张永康; 张亚琛; 刘峰斌; 豆照良; 李鸿; 李利军; 吴海平 |
| 地址 | 北京市石景山区晋元庄路5号 |
摘要文本
北方工业大学取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种精准调谐的MPCVD装置，包括微波传输装置，微波传输装置的底部设置有腔室，腔室的底部开设有排气口，腔室的内部设置有石英罩；微波传输装置中贯穿设置有同轴天线，同轴天线的底部位于腔室中，同轴天线的顶部与顶部传动机构连接；腔室的底部贯穿设置有多个底部天线，底部天线的顶部位于腔室的内壁与石英罩的外壁之间，底部天线的底部与底部传动机构连接。上述方案中，所述MPCVD装置结构简单、设计科学合理、使用方便，通过设置顶部传动机构和底部传动机构，可使同轴天线和底部天线进行精准进给，实现了精准调谐，提高了设备的精密性，因此，能够提高金刚石沉积效率和表面质量。
专利主权项内容
1.一种精准调谐的MPCVD装置，包括微波传输装置，其特征在于，所述微波传输装置的底部设置有腔室，所述腔室的底部开设有排气口，所述腔室的内部设置有石英罩；
所述微波传输装置中贯穿设置有同轴天线，所述同轴天线的底部位于所述腔室中，所述同轴天线的顶部与顶部传动机构连接，所述顶部传动机构用于带动所述同轴天线进行升降运动；
所述腔室的底部贯穿设置有多个底部天线，所述底部天线的顶部位于所述腔室的内壁与所述石英罩的外壁之间，所述底部天线的底部与底部传动机构连接，所述底部传动机构用于带动所述底部天线进行升降运动。