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一种磷化铟单晶生成装置
申请人信息
- 申请人:中讯半导体(江苏)有限公司
- 申请人地址:江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区西湖西路160号20幢20号
- 发明人: 中讯半导体(江苏)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种磷化铟单晶生成装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420675245.3 |
| 申请日 | 2024/4/3 |
| 公告号 | CN222226646U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C30B28/02 |
| 权利人 | 中讯半导体(江苏)有限公司 |
| 发明人 | 范博 |
| 地址 | 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区西湖西路160号20幢20号 |
摘要文本
中讯半导体(江苏)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种磷化铟单晶生成装置，包括加热箱和反应箱，所述加热箱一侧固定连接有连接管，所述连接管另一侧固定连接在反应箱上，且加热箱和反应箱均与连接管相连通，所述连接管外壁包裹有保温棉，所述连接管内壁底部固定连接有固定块，所述固定块靠近顶部位置开设有圆孔，所述圆孔中滑动连接有滑杆。本实用新型，加热箱内部的气压增大，当达到一定程度的时候，磷蒸汽将会加压密封板向反应箱移动，且弹簧受到压缩，同时密封板移动的距离越大，由于半圆锥槽的设置，通气的孔就越大，有效解决了背景技术中提出的问题，进而实现了对磷蒸汽的流量进行限制，避免过量的磷蒸汽在反应箱内未与铟反应，造成反应效率降低技术效果。
专利主权项内容
1.一种磷化铟单晶生成装置，包括加热箱(1)和反应箱(2)，其特征在于，所述加热箱(1)一侧固定连接有连接管(10)，所述连接管(10)另一侧固定连接在反应箱(2)上，且加热箱(1)和反应箱(2)均与连接管(10)相连通，所述连接管(10)外壁包裹有保温棉(3)，所述连接管(10)内壁底部固定连接有固定块(15)，所述固定块(15)靠近顶部位置开设有圆孔，所述圆孔中滑动连接有滑杆(14)，所述滑杆(14)靠近反应箱(2)一侧固定连接有密封板(13)，所述滑杆(14)另一侧固定连接有凸块(16)，所述滑杆(14)位于固定块(15)和凸块(16)之间的圆周表面滑动套设有方块(17)，所述方块(17)上开设有与滑杆(14)相适配的孔洞，所述滑杆(14)位于方块(17)和凸块(16)之间的圆周表面套设有弹簧(18)，所述方块(17)两侧均固定连接有圆杆(19)。