一种多层金属湿法腐蚀的硅片旋转提拉机构

专利主权项内容

1.一种多层金属湿法腐蚀的硅片旋转提拉机构，包括工作台(1)和支撑腿(2)，其特征在于：所述工作台(1)底部固定连接支撑腿(2)，所述工作台(1)通过矩型槽固定连接试剂槽(3)和清洗槽(4)，所述工作台(1)顶部后侧固定连接支撑板(5)，所述支撑板(5)顶部固定连接滑轨(6)，所述滑轨(6)左右两侧均固定连接防脱板(7)，所述防脱板(7)顶部均固定连接防尘板(8)，所述滑轨(6)内侧固定连接卡齿板(9)，所述滑轨(6)外侧滑动连接滑动套板(10)，所述滑动套板(10)顶部固定连接第一电机(11)，所述滑动套板(10)内侧固定连接限位板(12)，所述限位板(12)转动连接第一转动轴(13)，所述第一转动轴(13)外侧固定连接卡齿轮(14)，所述第一转动轴(13)前端和传动带(15)啮合，所述第一电机(11)主轴和传动带(15)啮合，所述第一电机(11)壳体前侧固定连接保护壳(16)，所述滑动套板(10)前侧面固定连接连接板(17)，所述连接板(17)前侧面固定连接第一电动伸缩杆(18)，所述第一电动伸缩杆(18)前端固定连接调节块(19)，所述调节块(19)顶部固定连接连接块(20)，所述连接块(20)顶端均固定连接第二电机(21)，所述第二电机(21)主轴固定连接第二转动轴(22)，所述第二转动轴(22)底端固定连接第二电动伸缩杆(23)，所述第二电动伸缩杆(23)底端固定连接焊接框(24)，所述焊接框(24)前后两侧均焊接加固板(25)，所述焊接框(24)和加固板(25)内侧均焊接片框(26)。 微信公众号马克 数据网