一种用于真空反应设备的破真空装置

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深港产学研基地(北京大学香港科技大学深圳研修院); 北京大学深圳研究院取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种用于真空反应设备的破真空装置，包括进气箱，进气箱一侧面设置有进气管，进气箱远离进气管的另一侧面布设有布气管，布气管与进气箱连接位置内侧设置有充气橡胶环，布气管外环侧设置有与布气管内部相通的布气环，布气环侧面上设置有布气孔，充气橡胶环上连接有分气管，分气管与进气箱内侧面通过管箍连接，分气管下侧设置有充气管。本实用新型进入到真空环境的气体从布气孔吹出，相邻布气环上的布气孔使得气体的动能相互撞击抵消，进而减少气体的动能，避免吹落杂质污染晶圆；另一路气体通过充气管和分气管可以充入到充气橡胶环内，进而调节充气橡胶环的膨胀程度，使得布气管的进气内孔直径得到调节，保证破真空效果。