一种用于碳化硅生长的气体混合加热系统

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山西烁科晶体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种用于碳化硅生长的气体混合加热系统，属于碳化硅晶体生长技术领域；包括多根掺杂气体管路、气体混合罐、气体分流器，以及混合气体温度控制系统；多根掺杂气体管路通过气体混合接头与气体传输管道的入口端相连接，所述气体传输管道上依次连接所述的气体混合罐和气体分流器，所述气体传输管道的出口端与碳化硅生长装置相连接；每根掺杂气体管路沿气体传输方向依次连接有气动隔膜阀、气体流量计和止逆阀；所述混合气体温度控制系统与气体传输管道连接，用于对气体传输管道内的气体进行恒温加热控制；本实用新型可排除环境温度变化对管道内部混合气体的影响；同时多阶段的融合也将混合气体的均匀性有效提升。