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一种用于拉制大直径晶棒的单晶炉排气系统
申请人信息
- 申请人:麦斯克电子材料股份有限公司
- 申请人地址:471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区
- 发明人: 麦斯克电子材料股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于拉制大直径晶棒的单晶炉排气系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420103967.1 |
| 申请日 | 2024/1/16 |
| 公告号 | CN222226648U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | C30B29/06 |
| 权利人 | 麦斯克电子材料股份有限公司 |
| 发明人 | 马武祥; 范吉祥; 吴彦国; 令狐铁兵 |
| 地址 | 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区 |
摘要文本
麦斯克电子材料股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，一种用于拉制大直径晶棒的单晶炉排气系统，包括集气外环，集气外环的顶端和底端朝向其中心垂直弯折形成折弯部，位于顶端的折弯部边缘设置有集气顶环，位于底端的折弯部边缘设置有集气底环，集气顶环和集气底环之间设置有至少两个垫块，垫块、集气外环、折弯部、集气顶环和集气底环围合形成集气腔，相邻两个垫块之间形成用于连通集气腔和单晶炉炉腔的进气间隙，集气外环的下方设置有自上而下延伸的排气管，排气管的顶端伸入集气腔内，本实用新型，使拉晶过程的气流不经过加热器，即不会带走加热器提供给单晶炉的热量，避免了能量浪费以及保持拉晶的稳定进行。
专利主权项内容
1.一种用于拉制大直径晶棒的单晶炉排气系统，其特征在于：包括集气外环(1)，集气外环(1)的顶端和底端朝向其中心垂直弯折形成折弯部(101)，位于顶端的折弯部(101)边缘设置有集气顶环(2)，位于底端的折弯部(101)边缘设置有集气底环(3)，集气顶环(2)和集气底环(3)之间设置有至少两个垫块(7)，垫块(7)、集气外环(1)、折弯部(101)、集气顶环(2)和集气底环(3)围合形成集气腔(8)，相邻两个垫块(7)之间形成用于连通集气腔(8)和单晶炉炉腔的进气间隙(6)，集气外环(1)的下方设置有自上而下延伸的排气管(5)，排气管(5)的顶端伸入集气腔(8)内。