立式氧化炉氮气吹扫装置

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扬州扬杰电子科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，立式氧化炉氮气吹扫装置，涉及半导体加工设备。包括底部环、上部环和若干氮气管；若干所述氮气管均布固定设置在底部环与上部环之间；所述底部环上设有若干与氮气管适配的进气孔；所述氮气管上设有若干从上而下均布设置的吹气孔；所述吹气孔朝向与之相邻的氮气管方向吹气。本实用新型有益效果：进舟时通过PLC控制，使氮气管通入氮气，晶圆片处于氮气氛围下，隔绝氧气，阻值薄层氧化层的生成，进舟结束后，停止氮气的通入。出舟时PLC指令通入氮气，同样使晶圆片处于氮气氛围下，隔绝氧气，阻值薄层氧化层的生成，出舟结束后，延时30分钟，停止氮气通入。