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带电粒子束发生器及离子束刻蚀设备
摘要文本
北京北方华创微电子装备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种带电粒子束发生器及离子束刻蚀设备，该带电粒子束发生器包括：带电粒子束生成腔体，具有引出口；引出口控制装置，用于调节引出口的引出面积。本方案根据带电粒子束生成腔体内部的等离子体密度幅值的大小，控制引出口控制装置调节引出口的引出面积，可以使该引出面积能够适配等离子体鞘层形态变化，使带电粒子引出效率始终维持在较大幅值，从而有效提高了带电粒子束发生器的性能和稳定性。 微信公众号马克 数据网
专利主权项内容
1.一种带电粒子束发生器，其特征在于，包括：
带电粒子束生成腔体，具有引出口；
引出口控制装置，用于调节所述引出口的引出面积。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 带电粒子束发生器及离子束刻蚀设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323387510.2 |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN222233575U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 发明人 | 田甲 |
| 地址 | 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 |