预热装置及半导体工艺设备

专利主权项内容

1.一种预热装置，其特征在于，包括：
预热槽(100)，设置有用于盛放工艺溶液的内腔(111)；所述预热槽(100)开设有溶液注入口(112)和溶剂注入口(113)，所述溶液注入口(112)用于向所述内腔(111)补充工艺溶液，所述溶剂注入口(113)用于向所述内腔(111)补充溶剂；所述溶剂注入口(113)的前端设置有可调流量计(200)，所述可调流量计(200)用于调节进入所述内腔(111)的溶剂流量；
检测组件，用于检测所述内腔(111)的工艺溶液的参数信息，以根据所述参数信息确定工艺溶液浓度值，以根据所述工艺溶液浓度值控制所述可调流量计(200)的开度；以及
加热元件(300)，安装于所述预热槽(100)，用于加热所述内腔(111)的工艺溶液。