一种晶圆清洗设备用供液系统

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无锡颂林达科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆清洗设备用供液系统，属于晶圆清洗供液技术领域，其技术方案要点包括主壳体，所述主壳体的顶部设置有端盖，所述主壳体的内部设置有多级过滤组件，所述主壳体的底部设置有恒温组件，主壳体内部的清洗液会在高速旋转下依次通过一级过滤网、二级过滤网和三级过滤网，以此完成对清洗液的多次过滤，使得内部的清洗液能够更好的循环使用，设置恒温组件，从进气管道通入恒温气体在恒温仓中，对恒温内筒进行保温措施，以此保证内部清洗液处于同一温度，设置密封环和密封圈，在使用时将恒温内筒与一级过滤网之间隔开，防止清洗液从恒温内筒顶部或者底部流出，提高了清洗液的纯度，保证了内部温度的稳定性。