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一种晶圆盒支撑座
摘要文本
无锡亚电智能装备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及一种晶圆盒支撑座，属于晶圆生产设备技术领域，在底板上成型安装槽，安装槽的设置方便对顶块进行定位安装，顶块用于直接接触晶圆盒的底部，并将晶圆盒稍微顶起，与晶圆盒直接放置在底板上相比，能够降低与晶圆盒的接触面积，顶板的设置能够将晶圆盒内的晶圆稍微顶起，使晶圆底部脱离与晶圆盒的直接接触，提高干燥效果。
专利主权项内容
1.一种晶圆盒支撑座，其特征在于，包括：
底板(1)，为具有中空(11)的矩形，所述底板(1)的长边上成型有安装槽(12)；
顶块(2)，安装在安装槽(12)内，用于支撑晶圆盒(9)的底部；
限位块(3)，设置在底板(1)的四角处，用于限制晶圆盒(9)的四角位置；
安装板(4)，设置在底板(1)上，位于中空(11)的上方；
顶板(5)，分别安装在安装板(4)的两侧，用于将晶圆盒(9)内的晶圆顶起。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆盒支撑座 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420909941.6 |
| 申请日 | 2024/4/28 |
| 公告号 | CN222233584U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 发明人 | 童建; 霍召军; 王建 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号软件园海豚座B1座1层 |