← 返回列表
原位多晶保温桶
摘要文本
北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司; 北京凯德石英股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及半导体氧化装置的领域，提供一种原位多晶保温桶，其包括上端板、下端板、限位件与保温片；所述上端板与所述下端板分别连接于所述限位件的两端，所述保温片与所述限位件可拆卸连接。本申请具有延长多晶用保温桶的使用寿命的效果。 来源：
专利主权项内容
1.一种原位多晶保温桶，其特征在于：包括上端板(1)、下端板(2)、限位件(3)与保温片(4)；所述上端板(1)与所述下端板(2)分别连接于所述限位件(3)的两端，所述保温片(4)与所述限位件(3)可拆卸连接。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 原位多晶保温桶 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420685643.3 |
| 申请日 | 2024/4/3 |
| 公告号 | CN222233582U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司; 北京凯德石英股份有限公司 |
| 发明人 | 张忠恕; 边占宁; 刘利; 陈强; 张连兴; 冯继瑶; 于洋; 周洁; 王志刚; 赵晓亮; 李翔星; 卢亮 |
| 地址 | 北京市大兴区北京经济技术开发区核心区34M3地块; 北京市通州区漷县镇工业开发区漷兴三街6号 |