一种半导体腔体的壳体结构

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杭州杭宇机械制造有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种半导体腔体的壳体结构，包括腔体和腔盖，所述腔体的顶部开设有密封槽，所述腔盖的底部安装有密封板，所述密封板的表面与密封槽的内表面滑动连接，所述密封板的底部安装有密封垫，所述腔体的内部设有密封组件，所述腔体内腔的底部设有取料机构，所述取料机构中包括：取料组件，包括安装在腔体内壁的限位板，所述限位板的内部滑动连接有放置板，所述放置板的底部固定连接有连接板，本实用新型涉及半导体技术领域。该半导体腔体的壳体结构，通过设置有取料机构，实现对放置板高度的灵活调节，从而便于工作人员对放置板顶部放置的物料进行放置和收取，避免在放置和收取的过程中出现物料与腔体内壁碰撞的情况。