静电晶圆盒

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甬矽半导体(宁波)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种静电晶圆盒，涉及晶圆盒技术领域，该静电晶圆盒包括第一盖体和第二盖体，第一盖体上设置有用于承载晶圆的晶圆放置槽，第二盖体可拆卸地盖设在第一盖体上，第二盖体上设置第一静电柱，第一静电柱的底端穿过第二盖体并伸入晶圆放置槽，第二盖体远离第一盖体的一侧表面还设置有第一静电圈，第一静电圈与第一静电柱接触，第一静电柱和第一静电圈用于消除晶圆放置槽内的静电。相较于现有技术，本实用新型通过额外设置第一静电柱和第二静电圈，能够有效消除晶圆放置槽内的静电，避免加工后的晶圆受静电击穿晶体管，保证晶圆质量。