静电卡盘机构

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苏州苏纳光电有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种静电卡盘机构，包括承载基座、静电卡盘、环形保护件、第一驱动组件以及顶针组件。承载基座具有一承载面，所述承载基座内设置有第一冷却液流道；静电卡盘设置在所述承载面上；环形保护件位于所述承载面上且套设于所述静电卡盘的外周面；第一驱动组件连接且作用于所述承载基座，所述第一驱动组件能驱动所述承载基座绕自身中心轴转动；以及，顶针组件包括穿设于所述承载基座内且能相对所述静电卡盘伸缩的顶针以及驱动所述顶针伸缩的第二驱动组件。本实用新型的静电卡盘机构，其能够提高工艺重复性、稳定性、均匀性及静电卡盘寿命。