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多尺寸晶片吸盘

申请号: CN202421019536.3
申请人: 北京兆维智能装备有限公司
更新日期: 2026-05-18

摘要文本

北京兆维智能装备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型提供了一种多尺寸晶片吸盘,包括吸盘本体,吸盘本体的正面设有第一吸附区域、第一吸附孔、第一吸附通道、至少一个第二吸附区域、至少一组第二吸附孔和至少一组第二吸附通道;第一吸附区域位于吸盘本体的中部,第一吸附通道的一端连通第一吸附孔,另一端连通第一吸附区域;每个第二吸附区域均为环形并围绕第一吸附区域布置,每一组第二吸附通道的一端连通对应一组第二吸附孔,另一端连通对应一个第二吸附区域。采用本实用新型,能够兼容不同尺寸的晶片进行吸附固定,避免了小尺寸晶片加工时的能源浪费,且避免了大尺寸晶片加工时的边缘翘曲现象。

专利主权项内容

1.一种多尺寸晶片吸盘,其特征在于:包括吸盘本体(1),所述吸盘本体(1)的正面设有第一吸附区域(2)、第一吸附孔(4)、第一吸附通道(5)、至少一个第二吸附区域(3)、至少一组第二吸附孔(6)和至少一组第二吸附通道(7);所述第一吸附区域(2)位于吸盘本体(1)的中部,所述第一吸附通道(5)的一端连通第一吸附孔(4),另一端连通第一吸附区域(2);每个所述第二吸附区域(3)均为环形并围绕第一吸附区域(2)布置,每一组第二吸附通道(7)的一端连通对应一组第二吸附孔(6),另一端连通对应一个第二吸附区域(3)。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 多尺寸晶片吸盘
专利类型 实用新型
申请号 CN202421019536.3
申请日 2024/5/11
公告号 CN222233608U
公开日 2024/12/24
IPC主分类号 H01L21/683
权利人 北京兆维智能装备有限公司
发明人 李伟; 陈雪锋; 商守海; 牛怡川; 张月涛; 曹清朋; 李旭阳; 杨阳
地址 北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维工业园B区B5栋