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一种半导体裸片推动装置及裸片拾取装置

申请号: CN202420154208.8
申请人: 长江存储科技有限责任公司
更新日期: 2026-05-18

摘要文本

长江存储科技有限责任公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本公开实施例提供一种半导体裸片推动装置及裸片拾取装置。所述半导体裸片推动装置包括:支撑台,包括支撑载有多个裸片的划片膜的支撑面,所述支撑面包括开口;推动部件,位于所述支撑台的所述开口内且所述推动部件能够相对于所述支撑台移动,所述推动部件包括中心推动块和围绕所述中心推动块设置的边缘推动块,所述中心推动块用于将所述划片膜上的目标裸片顶出至第一位置,所述边缘推动块用于将所述划片膜上的与所述目标裸片相邻的裸片顶出至第二位置;其中,所述第一位置相对于所述支撑台表面的高度大于所述第二位置相对于所述支撑台表面的高度。

专利主权项内容

1.一种半导体裸片推动装置,其特征在于,包括:
支撑台,包括支撑载有多个裸片的划片膜的支撑面,所述支撑面包括开口;
推动部件,位于所述支撑台的所述开口内且所述推动部件能够相对于所述支撑台移动,所述推动部件包括中心推动块和围绕所述中心推动块设置的边缘推动块,所述中心推动块用于将所述划片膜上的目标裸片顶出至第一位置,所述边缘推动块用于将所述划片膜上的与所述目标裸片相邻的裸片顶出至第二位置;其中,所述第一位置相对于所述支撑台表面的高度大于所述第二位置相对于所述支撑台表面的高度。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种半导体裸片推动装置及裸片拾取装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202420154208.8
申请日 2024/1/22
公告号 CN222233615U
公开日 2024/12/24
IPC主分类号 H01L21/687
权利人 长江存储科技有限责任公司
发明人 尤戈; 陈鹏; 莫平; 陶莉
地址 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号