一种芯片超纯水终端精处理设备

专利主权项内容

1.一种芯片超纯水终端精处理设备，其特征在于，包括机体(1)、两组螺栓(2)、内环(3)、外环(4)、驱动装置、卡装机构、固定装置和支撑装置，内环(3)和外环(4)的前部和后部均连通设置有螺纹孔，内环(3)和外环(4)分别套在机体(1)外侧，两组螺栓(2)分别与内环(3)和外环(4)的前侧螺纹孔和后侧螺纹孔螺纹连接，驱动装置安装在机体(1)上，驱动装置与内环(3)和外环(4)连接，卡装机构安装在驱动装置上，卡装机构与机体(1)配合连接，固定装置安装在卡装机构上，支撑装置安装在驱动装置上；驱动装置包括两组电动推杆(5)、套环(6)、四组滑块(7)、四组约束轴(8)、四组弧型杆(9)和四组带动杆(10)，两组电动推杆(5)分别安装在机体(1)前端和后端的上部，套环(6)安装在两组电动推杆(5)输出端，套环(6)套在机体(1)外侧，套环(6)底端的前侧和后侧均设置有滑槽，四组滑块(7)分别在套环(6)底端的两组滑槽上滑动，四组约束轴(8)分别安装在机体(1)前端和后端的左下侧和右下侧，四组弧型杆(9)转动安装在四组约束轴(8)上，四组弧型杆(9)顶端与四组滑块(7)底端转动连接，四组弧型杆(9)底端与四组带动杆(10)顶端转动连接，每组带动杆(10)内端均转动设置有第一连杆(11)，多组第一连杆(11)分别与内环(3)和外环(4)的外端转动连接，支撑装置安装在两组带动杆(10)上，卡装机构安装在套环(6)上；卡装机构包括四组第二连杆(12)、两组放置板(13)和四组第三连杆(14)，四组第二连杆(12)分别安装在套环(6)顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧，两组放置板(13)分别转动安装在机体(1)顶端的左侧和右侧，四组第三连杆(14)底端与四组第二连杆(12)顶端转动连接，固定装置安装在两组放置板(13)上；固定装置包括两组橡胶垫(15)、两组第一弹簧(17)和两组顶块(18)，两组橡胶垫(15)分别安装在两组顶块(18)内端，两组放置板(13)内部均设置有滑动槽(16)，两组第一弹簧(17)安装在两组滑动槽(16)内，两组顶块(18)外端与两组第一弹簧(17)连接，两组滑动槽(16)内端均连通设置有滑孔，两组顶块(18)在两组滑动槽(16)的滑孔内滑动；支撑装置包括四组第二弹簧(19)、四组滑杆(20)和四组滚轮(21)，四组带动杆(10)底端均设置有伸缩槽，四组滑杆(20)分别与四组带动杆(10)的伸缩槽滑动连接，四组第二弹簧(19)分别套设在四组滑杆(20)外侧，四组第二弹簧(19)顶端与四组带动杆(10)底端连接，四组第二弹簧(19)底端与四组滑杆(20)底部连接，四组滚轮(21)分别转动安装在四组滑杆(20)底端。