承载装置与半导体工艺设备的工艺腔室

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北京北方华创微电子装备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请公开了一种承载装置及半导体工艺设备的工艺腔室，涉及半导体领域。一种承载装置，应用于半导体工艺设备的工艺腔室，承载装置包括：承载座、多个升降件和多个限位件；承载座设有多个第一通孔和多个第二通孔，多个第一通孔和多个第二通孔分别沿承载座的轴向贯通承载座；多个升降件分别可升降地穿设于多个第一通孔，用于在取放晶圆时凸出承载座的表面设置以用于支撑晶圆；多个限位件分别可升降地穿设于第二通孔，用于与晶圆的外缘抵接。一种半导体工艺设备的工艺腔室，包括上述承载装置。本申请至少能够解决晶圆升降过程中出现滑移、偏边、贴边现象而影响厚度、电阻率均匀性，以及温度场分布均匀性等问题。 更多数据：搜索来源：