可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统和方法

专利主权项内容

1.可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统，其特征在于，所述可减少深冷污氩排放量的污氩分离系统包括：阀组，所述阀组包括一进气阀、一解析控制阀以及至少两排污阀；至少两吸附塔，每个所述吸附塔的顶部具有一富氩出气口，并且每个所述吸附塔顶部的所述富氩出气口被相互连通，以形成一再生通道，每个所述吸附塔顶部的所述富氩出气口还被连通于一出富氩气通道，其中所述解析控制阀被设置于所述再生通道，用以控制所述再生通道的通断，每个所述吸附塔的底部还具有至少一排污口；与所述吸附塔至少数量相同的排污通道，每个所述排污通道的一端被连通于每个所述吸附塔的底部的所述排污口，而另一端形成一排出口，用以排出每个所述吸附塔底部的废气，其中每个所述排污通道设置至少一个所述排污阀；进气构件，所述进气构件具有一进气口，并且所述进气构件包括与所述吸附塔数量一致的至少两个进气管路，其中每个所述进气管路上设置一所述进气阀，并且每个所述进气管路的两端分别连通于所述进气口和所述吸附塔的底部，以在所述进气阀被打开时，从所述进气口进入的污氩废气，能够经由所述进气管路进入对应的所述吸附塔中一进气口中，并随后被过滤，当与其中至少一个所述吸附塔连通的至少一个所述进气阀被打开时，与未打开的所述进气阀相连的其他所述吸附塔将处于解析状态，而对应的与对应打开的所述进气阀相连的所述吸附塔将处于吸附工作状态，而与处于吸附工作状态的所述吸附塔底部相连的所述排污阀则处于关闭状态，而与处于解析状态的所述吸附塔底部相连的所述排污阀则处于打开状态；至少一氩气回流构件，所述氩气回流构件包括至少一均压罐和与所述吸附塔数量至少一致的第一均压通道，所述阀组包括一第一均压阀，其中所述第一均压阀被设置在每条所述第一均压通道上，每条所述第一均压通道的一端被连通于所述均压罐，而另一端被连通于一个所述吸附塔的顶部。