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一种大口径激光光斑形貌的测量装置及方法
申请人信息
- 申请人:同济大学
- 申请人地址:200092 上海市杨浦区四平路1239号
- 发明人: 同济大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种大口径激光光斑形貌的测量装置及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311552508.8 |
| 申请日 | 2023/11/21 |
| 公告号 | CN117740144A |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | G01J1/42 |
| 权利人 | 同济大学 |
| 发明人 | 马彬; 郑湘粤; 张锦龙; 沈正祥; 焦宏飞; 王占山; 周雷; 何春伶; 陈易凡 |
| 地址 | 上海市杨浦区四平路1239号 |
摘要文本
本发明涉及一种大口径激光光斑形貌的测量装置及方法，该装置包括：分光镜：设于待测激光器后，用于将待测激光器射出的大口径光束分成两路，分为第一光束和第二光束，分别用于能量监测和光斑形貌采集；能量监测模块：该模块包括依次设于分光镜之后的聚焦透镜、第一快门、第一衰减片和能量计，用于实时监测第一光束的能量波动；光斑形貌采集模块：该模块包括依次设于分光镜之后的第二衰减片、第二快门、CCD和二维电机，用于分区采集第二光束的CCD光斑图像，并基于第一光束的能量将所有分区采集的CCD光斑图像进行归一化后拼接，获得大口径激光光斑形貌。与现有技术相比，本发明具有测量口径大、拼接效果好等优点。
专利主权项内容
详见官网： 1.一种大口径激光光斑形貌的测量装置，其特征在于，包括：分光镜(2)：设于待测激光器(1)后，用于将所述待测激光器(1)射出的大口径光束分成两路，分为第一光束和第二光束，分别用于能量监测和光斑形貌采集；能量监测模块：该模块包括依次设于分光镜(2)之后的聚焦透镜(7)、第一快门(8)、第一衰减片(9)和能量计(10)，用于实时监测第一光束的能量波动；光斑形貌采集模块：该模块包括依次设于分光镜(2)之后的第二衰减片(3)、第二快门(4)、CCD(5)和二维电机(6)，用于分区采集第二光束的CCD光斑图像，并基于所述第一光束的能量将所有分区采集的CCD光斑图像进行归一化后拼接，获得大口径激光光斑形貌。