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一种图形结构形貌参数的测量方法
申请人信息
- 申请人:魅杰光电科技(上海)有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 发明人: 魅杰光电科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种图形结构形貌参数的测量方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311684073.2 |
| 申请日 | 2023/12/8 |
| 公告号 | CN117685899A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | G01B11/24 |
| 权利人 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 秦雪飞; 任晓静; 温任华 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼 |
摘要文本
魅杰光电科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供一种图形结构形貌参数的测量方法，包括以下步骤：获取若干具有不同形貌的样本图形结构的形貌参数、以及各所述样本图形结构在多个目标波长的入射光束照射下对应的总反射率；建立各所述样本图形结构的形貌参数与所述目标波长、所述总反射率之间的映射关系，并将各所述映射关系存入数据库中；测量待测图形结构在各所述目标波长的入射光束照射下对应的总反射率；将所述待测图形结构在各所述目标波长的入射光束照射下对应的总反射率与所述数据库中的所述映射关系进行匹配，得到所述待测图形结构的形貌参数。本发明图形结构形貌参数的测量方法操作简单且成本较低。。来源：专利查询网
专利主权项内容
1.一种图形结构形貌参数的测量方法，其特征在于，包括：获取若干具有不同形貌的样本图形结构的形貌参数、以及各所述样本图形结构在多个目标波长的入射光束照射下对应的总反射率；建立各所述样本图形结构的形貌参数与所述目标波长、所述总反射率之间的映射关系，并将各所述映射关系存入数据库中；测量待测图形结构在各所述目标波长的入射光束照射下对应的总反射率；将所述待测图形结构在各所述目标波长的入射光束照射下对应的总反射率与所述数据库中的所述映射关系进行匹配，得到所述待测图形结构的形貌参数。