一种高精度探针架

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吉林华微电子股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于一种高精度探针架，涉及半导体测试技术领域，与待测半导体芯片配合使用，包括：探针架底座、水平X向模块、水平Y向模块、竖直Z向模块和探针臂，所述水平Y向模块设于探针架底座上方，所述水平X向模块设于水平Y向模块上方，所述竖直Z向模块设于水平X向模块侧方且与其固定连接，竖直Z向模块下方设有探针臂，本实用新型与现有技术相比大幅度的提高了探针架的下探精度，下探精度可达1μm，解决了现有技术中测试探针在对被测半导体芯片进行测试时极易损坏和计算针压值容易产生误差的问题，本实用新型实现快速测试功能，操作简单，装置成本低，作业效率高。