吸附型装载机构及曝光机

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广东科视光学技术股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及曝光机装载机构技术领域，尤其涉及一种吸附型装载机构及曝光机。通过吸附的方式固定待曝光件。当待曝光件放置于装载机构时，通过负压装置使吸附孔形成负压，进而通过大气压力将待曝光件固定于装载机构。由于待曝光件区域内的吸附孔主要由待曝光件承受大气压力，因此密封件受到的大气压力较小，弹性件使密封件解除对吸附孔的密封。而待曝光件区域外的吸附孔没有待曝光件承受大气压力，因此，由密封件承受大部分的大气压力，使密封件紧贴装载台组件，进而对吸附孔进行封堵，防止漏气现象的产生，进而保证装载机构吸附待曝光件的有效性，并降低负压装置的功率，进而降低曝光设备的能耗。如此，提高装载机构的可靠性，降低曝光设备能耗。