晶圆测试机

专利主权项内容

1.一种晶圆测试机，其特征在于，包括：
机架；
至少一组设置于所述机架的第一直线机构；
晶圆承载机构，滑动设置于所述第一直线机构，包括滑台和均设置于所述滑台的可旋转的测试台以及设置于所述测试台一侧的打点烘干台；
测试机构，设置于所述机架，包括横跨所述第一直线机构设置的第一转运机构和设置于所述第一转运机构上的测试装置；
打点机构，设置于所述机架，包括横跨所述第一直线机构设置的第二转运机构和设置于所述第二转运机构上的打点装置；
烘干加热机构，设置于所述机架且位于所述第一直线机构的一端，其中设置有用于容纳所述打点烘干台的加热室，在所述加热室中设置有热源；
上料推送机构，设置于所述第一直线机构一侧，用于承载晶圆移动至上料位；
吸取机构，设置于所述机架，包括横跨所述第一直线机构设置的第三转运机构以及设置于所述第三转运机构上的吸取装置和视觉装置；所述吸取机构用于在上料位检测所述晶圆的角度从所述上料推送机构并吸取所述晶圆、以及吸取晶圆在所述测试台和所述打点烘干台之间移动。