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一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用
申请人信息
- 申请人:上海芯密科技有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄13号厂房一楼南区
- 发明人: 上海芯密科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311562136.7 |
| 申请日 | 2023/11/22 |
| 公告号 | CN117777941A |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | C09J183/04 |
| 权利人 | 上海芯密科技有限公司 |
| 发明人 | 高洁; 奚香荣; 张玉龙; 张红; 邓鹏飞 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄13号厂房一楼南区 |
摘要文本
上海芯密科技有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明涉及半导体材料技术领域，特别是涉及一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用。所述密封胶的主要原料为有机硅，还可以包括改性的纳米二氧化硅、其他填料。本发明操作工艺方便，适用范围广，只要厚度小于2mm的任意形状的缝隙均适用。同时该密封胶的抗腐蚀性更加优异，降低了静电吸盘的维护成本，同时延长其使用寿命。
专利主权项内容
1.一种用于静电吸盘缝隙的密封胶，其特征在于，所述密封胶包括如下重量份的组分：有机硅 100份改性的纳米二氧化硅 0～15份；其他填料 0～5份。