附带籽晶温度自检功能的mpcvd金刚石生长设备
申请人信息
- 申请人:上海征世科技股份有限公司
- 申请人地址:201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧
- 发明人: 上海征世科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 附带籽晶温度自检功能的mpcvd金刚石生长设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311563102.X |
| 申请日 | 2023/11/22 |
| 公告号 | CN117604625A |
| 公开日 | 2024/2/27 |
| IPC主分类号 | C30B25/00 |
| 权利人 | 上海征世科技股份有限公司 |
| 发明人 | 满卫东; 杨春梅 |
| 地址 | 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧 |
摘要文本
上海征世科技股份有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供附带籽晶温度自检功能的mpcvd金刚石生长设备，涉及气相沉积技术领域。该附带籽晶温度自检功能的mpcvd金刚石生长设备包括金刚石生长炉体和安装于金刚石生长炉体一侧并与金刚石生长炉体相连通的进气管，所述金刚石生长炉体内部顶面固定连接有中间管道。该附带籽晶温度自检功能的mpcvd金刚石生长设备通过升降组件的交替升降，使得充分混合的反应气体能够经过环形等距分布的匀气孔进一步匀气后，气体最后经过位于第二排气头凹陷部位的气孔和设置于第一排气头外表面的气孔中朝着相互对应的方向排出，不仅达到对反应气体的进一步混合，同时也能够使气体能够均匀的层层铺设，使反应气体能够与石墨均匀充分的反应。
专利主权项内容
1.附带籽晶温度自检功能的mpcvd金刚石生长设备，包括金刚石生长炉体(1)和安装于金刚石生长炉体(1)一侧并与金刚石生长炉体(1)相连通的进气管，其特征在于：所述金刚石生长炉体(1)内部顶面固定连接有中间管道(2)，所述中间管道(2)外侧固定连接有第一排气头(3)和第二排气头(4)，所述中间管道(2)外侧开设有第一出气孔(20)和第二出气孔(22)，所述第一出气孔(20)和第二出气孔(22)位置处均设置有升降组件，所述升降组件包括密封滑动于中间管道(2)外侧的两个移动滑板(5)；所述金刚石生长炉体(1)内部底面设置有反应用的沉积台(17)，所述金刚石生长炉体(1)内侧壁安装有检测金刚石生长炉体(1)内反应温度的温度传感器(16)，所述第二排气头(4)靠近沉积台(17)的一侧向上凹陷，所述气孔呈环形等距分布于第二排气头(4)的凹陷部位，所述第一排气头(3)的截面形状设置为圆环，且气孔呈环形等距分布于第一排气头(3)外表面；所述沉积台(17)包括中空台座(1701)和台面(1702)，所述台面(1702)设置于中空台座(1701)的顶部开口处，所述中空台座(1701)内部设置有执行器(803)，所述执行器(803)底部与中空台座(1701)通过轴承转动连接，所述执行器(803)包括主电动缸(8031)，所述主电动缸(8031)输出端端部安装有至少两个辅助电缸(8032)，所述辅助电缸(8032)输出端端部设置有弧形突出部凸出部(8033)，所述凸出部(8033)上开设有嵌入槽，所述主电动缸(8031)输出端中心处固定连接有连接杆(8034)，所述连接杆(8034)端部连接有球铰连接座(8035)，所述球铰连接座(8035)安装于台面(1702)的底部；所述台面(1702)固定有至少两组限制组件，所述限制组件包括转动连接座(1704)，所述转动连接座(1704)上活动铰接安装有限位杆(1703)，所述限位杆(1703)朝向台面(1702)一侧固定连接有短弹簧(1705)。。来自：