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镀膜装置
申请人信息
- 申请人:安迈特科技(北京)有限公司
- 申请人地址:102400 北京市房山区弘安路87号院5号楼2层222室
- 发明人: 安迈特科技(北京)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 镀膜装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311743502.9 |
| 申请日 | 2023/12/18 |
| 公告号 | CN117646172A |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | C23C14/26 |
| 权利人 | 安迈特科技(北京)有限公司 |
| 发明人 | 徐文婷; 陈一民; 杨怀超; 孙欣森 |
| 地址 | 北京市房山区弘安路87号院5号楼2层222室 |
摘要文本
本公开提供一种镀膜装置，包括：镀膜腔体，镀膜腔体内具有预设的真空度，镀膜腔体内设置有待镀膜的基材；蒸发机构，用于向基材表面蒸发金属蒸气进行镀膜；送丝机构，用于向蒸发机构输送待蒸发金属丝，包括：送丝管，送丝管具有进丝口、出丝口以及进气口，进气口配置为以预设流量输入惰性气体，出丝口配置为供待蒸发金属丝和惰性气体同时输出；其中，预设流量包括第一预设流量和第二预设流量，响应于惰性气体以第一预设流量输入进气口，待蒸发金属丝在出丝口的振动幅度大于预设范围；响应于惰性气体以第二预设流量输入进气口，待蒸发金属丝在出丝口的振动幅度小于预设范围。
专利主权项内容
1.一种镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜腔体，所述镀膜腔体内具有预设的真空度，所述镀膜腔体内设置有待镀膜的基材；蒸发机构，用于向所述基材表面蒸发金属蒸气进行镀膜；送丝机构，用于向所述蒸发机构输送待蒸发金属丝，包括：送丝管，所述送丝管具有进丝口、出丝口以及进气口，所述进气口配置为以预设流量输入惰性气体，所述出丝口配置为供所述待蒸发金属丝和所述惰性气体同时输出；其中，所述预设流量包括第一预设流量和第二预设流量，响应于所述惰性气体以所述第一预设流量输入所述进气口，所述待蒸发金属丝在所述出丝口的振动幅度大于预设值；响应于所述惰性气体以所述第二预设流量输入所述进气口，所述待蒸发金属丝在所述出丝口的振动幅度小于所述预设值。