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一种高纯碳化硅粉体的制备工艺

申请号: CN202311436478.4
申请人: 中国建筑材料工业地质勘查中心宁夏总队
更新日期: 2026-03-09

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种高纯碳化硅粉体的制备工艺
专利类型 发明申请
申请号 CN202311436478.4
申请日 2023/11/1
公告号 CN117383941A
公开日 2024/1/12
IPC主分类号 C04B35/565
权利人 中国建筑材料工业地质勘查中心宁夏总队
发明人 梁利东; 白建光; 黄瑞; 欧毅; 刘雷; 宋海龙; 韩茂武; 肖立雁; 杨杰; 曹亮; 张庚; 徐海锋
地址 宁夏回族自治区银川市西夏区怀远西路644号

摘要文本

中国建筑材料工业地质勘查中心宁夏总队取得“一种透气窗帘布”专利技术,本发明公开了一种高纯碳化硅粉体的制备工艺,包括以下步骤:(1)将高纯碳粉和高纯硅粉进行湿法混料,干燥后进行压制,形成坯体;(2)将两个坯体上下叠加放置于电磁感应炉的石墨坩埚中,真空下升温至1450℃并保温2小时,然后升温至1600℃并保温2小时,然后升温至2050~2250℃并保温2小时;降温至室温即得。本发明的制备工艺,两个坯体上下叠加,利用重烧结时坩埚内部温度梯度分布,底部碳化硅分解产生大量Si穿越上部叠加样品,减少上部样品残碳量,增加上部样品SiC生成量。利用本发明的工艺制得的高纯碳化硅粉体,纯度高于99.999%,完全满足碳化硅单晶生长要求和电子陶瓷原料使用级别要求。

专利主权项内容

1.一种高纯碳化硅粉体的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:(1)坯体制备:将高纯碳粉和高纯硅粉按摩尔比1 : 1.0~1.2的比例进行湿法混料,干燥后进行压制,形成坯体;(2)将两个坯体上下叠加放置于电磁感应炉的石墨坩埚中,真空下升温至1450℃并保温2小时,然后升温至1600℃并保温2小时,然后升温至2050~2250℃并保温2小时;降温至室温,即制得高纯碳化硅粉体。 马 克 数 据 网