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真空镀膜设备
申请人信息
- 申请人:安徽其芒光电科技有限公司
- 申请人地址:230000 安徽省合肥市高新区文曲路19号3楼101室
- 发明人: 安徽其芒光电科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 真空镀膜设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311358103.0 |
| 申请日 | 2023/10/18 |
| 公告号 | CN117364047A |
| 公开日 | 2024/1/9 |
| IPC主分类号 | C23C14/54 |
| 权利人 | 安徽其芒光电科技有限公司 |
| 发明人 | 葛鹤龄; 程序雳; 杨运; 王怀民; 姜友松 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区文曲路19号3楼101室 |
摘要文本
本申请公开一种真空镀膜设备，包括：真空腔室；与真空腔室相连通的排气机构；设置在真空腔室内顶部的游星回转机构，用于安装基板；设置在真空腔室内底部的蒸发源；加热机构，设置在真空腔室内且与蒸发源位于基板的同一侧，加热机构位于游星回转机构的下方；加热机构包括支架、卤素灯、两个第一电极和至少两个接线排；支架固定设置在真空腔室的壁面；卤素灯安装于支架，卤素灯相对于支架的位置和角度可调；每个接线排均与卤素灯通过第一导线相连；两个第一电极分别与不同的接线排通过第二导线相连，用于将真空腔室外部的电源引至接线排。本说明书所提供的真空镀膜设备，其加热机构的加热效率高，热量传递迅速，且游星回转机构的寿命得以延长。
专利主权项内容
1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：真空腔室；与所述真空腔室相连通的排气机构，用于对所述真空腔室抽真空；设置在所述真空腔室内顶部的游星回转机构，用于安装基板；设置在所述真空腔室内底部的蒸发源，用于对所述基板镀膜；加热机构，用于加热所述基板；所述加热机构设置在所述真空腔室内且与所述蒸发源位于所述基板的同一侧，所述加热机构位于所述游星回转机构的下方；所述加热机构包括支架、卤素灯、两个第一电极和至少两个接线排；所述支架固定设置在所述真空腔室的壁面；所述卤素灯安装于所述支架，所述卤素灯相对于所述支架的位置和角度可调；每个所述接线排均与所述卤素灯通过第一导线相连；两个所述第一电极分别与不同的所述接线排通过第二导线相连，用于将所述真空腔室外部的电源引至所述接线排。