一种单晶硅片生产加工夹具

摘要文本

本发明属于单晶硅片研磨技术领域，具体的说是一种单晶硅片生产加工夹具，包括底座；承托机构，所述承托机构固定安装在底座的上表面前端，且所述承托机构用于承托待研磨的单晶硅片；研磨件；限位机构；所述翻转机构用于配合承托机构对待研磨的单晶硅片进行夹持限位，翻转机构，通过驱动件上升限位板，抬升接触硅片，并推动硅片和两侧的滑动座沿着滑动槽移动至最上端，然后通过驱动件转动转动环，继而带动滑动块向着内侧滑动，带动限位块靠近硅片的外侧表面，对硅片进行夹持，在夹持结束后，再复位限位板至最下端，使得硅片和两侧的滑动座回到原位置，既节约了夹持硅片所需的时间，也不对硅片的研磨面进行遮挡。