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一种柔性化的Y型微型热电器件及其制备方法
申请人信息
- 申请人:中北大学
- 申请人地址:030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
- 发明人: 中北大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种柔性化的Y型微型热电器件及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311817067.X |
| 申请日 | 2023/12/27 |
| 公告号 | CN117479809B |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H10N10/81 |
| 权利人 | 中北大学 |
| 发明人 | 刘丹; 郭锐; 施伟鹏; 郭睿; 王永华; 陈奕; 崔丹凤; 薛晨阳 |
| 地址 | 山西省太原市尖草坪区学院路3号 |
摘要文本
本发明属于半导体器件技术领域，公开了一种柔性化的Y型微型热电器件及其制备方法，包括聚酰亚胺衬底层、有机物填充层和设置在中间的热电单元层，热电单元层顶部设置有多个向下延伸至聚酰亚胺衬底层的第一电极柱，底部设置有多个向上延伸至有机物填充层的第二电极柱，第二电极柱与第一电极柱交错设置；热电单元层设置在各个相邻的第二电极柱之间，两个相邻的第二电极柱及其之间的热电单元层和第一电极柱构成Y型热电单元器件；热电单元层包括分别位于第一电极柱的左右两侧的N型热电单元和P型热电单元。本发明不仅热电转化率高，性能优异，而且结构简单，易于扩展，其结合MEMS工艺制备，制备工艺简单、成本低，可广泛应用。。
专利主权项内容
1.一种柔性化的Y型微型热电器件，其特征在于，包括聚酰亚胺衬底层(3)、有机物填充层(9)和设置在中间的热电单元层，热电单元层顶部设置有多个向下延伸至聚酰亚胺衬底层(3)的第一电极柱(1)，底部设置有多个向上延伸至有机物填充层(9)的第二电极柱(8)，所述第二电极柱(8)与第一电极柱(1)交错设置；所述热电单元层设置在各个相邻的第二电极柱(8)之间，两个相邻的所述第二电极柱(8)及其之间的热电单元层和第一电极柱(1)构成Y型热电单元器件；所述热电单元层包括分别位于第一电极柱(1)的左右两侧的N型热电单元(6)和P型热电单元(7)。