基于多维数据分析的光罩调光控制方法及系统
申请人信息
- 申请人:东莞市钜欣电子有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市清溪镇青湖东路55号力合紫荆科创中心研发楼2栋701室
- 发明人: 东莞市钜欣电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于多维数据分析的光罩调光控制方法及系统 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311757266.6 |
| 申请日 | 2023/12/20 |
| 公告号 | CN117460128B |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | H05B47/105 |
| 权利人 | 东莞市钜欣电子有限公司 |
| 发明人 | 刘义军; 黄幸宗; 李文桢 |
| 地址 | 广东省东莞市清溪镇青湖东路55号力合紫荆科创中心研发楼2栋701室 |
摘要文本
本发明涉及数据分析领域,公开了一种基于多维数据分析的光罩调光控制方法及系统,用于实现智能化的光罩调光控制并提高光罩调光控制的准确率。方法包括:获取目标光罩的用户控制数据以及环境参数数据;进行用户控制特征提取,得到多个用户控制特征并进行主观权重分析,得到用户权重数据;进行参数分类,得到多个目标环境特征并进行客观权重分析,得到环境权重数据;进行向量编码,得到用户控制特征向量和目标环境特征向量;进行差异系数计算,得到目标差异系数,并进行向量融合,得到目标融合特征向量;将目标融合特征向量输入光罩调光控制模型进行光罩调光控制分析,得到目标光罩调光控制策略。
专利主权项内容
1.一种基于多维数据分析的光罩调光控制方法,其特征在于,所述基于多维数据分析的光罩调光控制方法包括:获取目标光罩的用户控制数据以及环境参数数据;具体包括:基于预设的测试时间段,对目标光罩进行用户控制参数采集,得到用户亮度和颜色调整参数;对所述用户亮度和颜色调整参数进行数据清洗和数据整合,生成用户控制数据;通过预置的传感器组,根据所述测试时间段对所述目标光罩进行多维环境参数采集,得到初始多维环境参数;对所述初始多维环境参数进行参数标准化处理,得到环境参数数据;对所述用户控制数据进行用户控制特征提取,得到多个用户控制特征,并通过预置的层次分析法对所述多个用户控制特征进行主观权重分析,得到用户权重数据;具体包括:将所述用户控制数据输入预置的双层长短时自编码器,所述双层长短时自编码器包括第一层长短时记忆网络以及第二层长短时记忆网络;通过所述第一层长短时记忆网络对所述用户控制数据进行前向隐藏特征提取,得到前向隐藏特征,并通过所述第二层长短时记忆网络对所述用户控制数据进行后向隐藏特征提取,得到后向隐藏特征;对所述前向隐藏特征以及所述后向隐藏特征进行特征融合,得到多个用户控制特征,所述多个用户控制特征包括:调光频率特征、调整幅度特征以及调光速度特征;通过预置的层次分析法将所述多个用户控制特征作为要比较和排序的因素,构建一个层次结构,所述层次结构包括目标层、准则层和因素层;根据所述层次结构,构建所述多个用户控制特征的判别矩阵,并对所述判别矩阵中的多个列向量进行均值运算,得到每个用户控制特征的权重向量;分别对每个用户控制特征的权重向量进行归一化处理,得到每个权重向量的用户权重数据;对所述环境参数数据进行参数分类,得到多个目标环境特征,并对所述多个目标环境特征进行客观权重分析,得到环境权重数据;具体包括:将所述环境参数数据输入预置的参数分类模型,通过所述参数分类模型确定光照强度聚类中心、环境温度聚类中心以及环境湿度聚类中心;根据所述光照强度聚类中心对所述环境参数数据进行参数聚类,得到环境光照强度数据,并根据所述环境温度聚类中心对所述环境参数数据进行参数聚类,得到环境温度数据,以及根据所述环境湿度聚类中心对所述环境参数数据进行参数聚类,得到环境湿度数据;获取所述测试时间段的时间戳数据,根据所述时间戳数据对所述环境光照强度数据进行曲线拟合,得到环境光照强度曲线,并根据所述时间戳数据对所述环境温度数据进行曲线拟合,得到环境温度曲线,以及根据所述时间戳数据对所述环境湿度数据进行曲线拟合,得到环境湿度曲线;对所述环境光照强度曲线、所述环境温度曲线以及所述环境湿度曲线进行环境特征提取,得到多个目标环境特征;计算所述环境光照强度曲线的第一均值和第一标准差,并计算所述环境温度曲线的第二均值和第二标准差,以及计算所述环境湿度曲线的第三均值和第三标准差;计算所述第一均值和所述第一标准差之间的第一变异系数,并计算所述第二均值和所述第二标准差之间的第二变异系数,并计算所述第三均值和所述第三标准差之间的第三变异系数;分别对所述第一变异系数、所述第二变异系数以及所述第三变异系数进行归一化处理,得到环境权重数据;根据所述用户权重数据对所述多个用户控制特征进行向量编码,得到用户控制特征向量,并根据所述环境权重数据对所述多个目标环境特征进行向量编码,得到目标环境特征向量;对所述用户权重数据以及所述环境权重数据进行差异系数计算,得到目标差异系数,并根据所述目标差异系数对所述用户控制特征向量以及所述目标环境特征向量进行向量融合,得到目标融合特征向量;将所述目标融合特征向量输入预置的光罩调光控制模型进行光罩调光控制分析,得到目标光罩调光控制策略。