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一种单晶复合衬底及其制备方法
申请人信息
- 申请人:松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市大朗镇屏东路333号
- 发明人: 松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种单晶复合衬底及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311559095.6 |
| 申请日 | 2023/11/21 |
| 公告号 | CN117568912A |
| 公开日 | 2024/2/20 |
| IPC主分类号 | C30B1/02 |
| 权利人 | 松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司 |
| 发明人 | 王新强; 袁冶; 卢同心; 万文婷; 曹家康; 李泰; 罗巍 |
| 地址 | 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋; 广东省东莞市松山湖园区总部二路2号1栋306室 |
摘要文本
松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供一种单晶复合衬底及其制备方法，涉及复合材料领域。单晶复合衬底的制备方法包括以下步骤：获得单晶复合衬底模板，单晶复合衬底模板包括衬底以及形成于其表面的单晶模板；在单晶模板的表面沉积一层沉积层，沉积层与单晶模板的材质相同，沉积层为非晶相；对沉积层使用脉冲激光辐射处理以使沉积层重结晶，获得单晶膜，重结晶的过程中衬底保持室温；重复沉积和重结晶的步骤，直至单晶膜的堆叠厚度达到预设厚度。该制备方法能够在增加单晶膜的总厚度的基础上，减小衬底和单晶膜之间的内应力，有效提高最终制得的单晶复合衬底的质量。
专利主权项内容
1.一种单晶复合衬底的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：获得单晶复合衬底模板，所述单晶复合衬底模板包括衬底以及形成于其表面的单晶模板；在所述单晶模板的表面沉积一层沉积层，所述沉积层与所述单晶模板的材质相同，所述沉积层为非晶相；对所述沉积层使用脉冲激光辐射处理以使所述沉积层重结晶，获得单晶膜，所述重结晶的过程中所述衬底保持室温；重复沉积和重结晶的步骤，直至所述单晶膜的堆叠厚度达到预设厚度。