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一种工艺检测方法、系统及电路
申请人信息
- 申请人:广州润芯信息技术有限公司
- 申请人地址:510000 广东省广州市黄埔区南翔二路23号5栋605、625、631房
- 发明人: 广州润芯信息技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种工艺检测方法、系统及电路 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311612691.6 |
| 申请日 | 2023/11/28 |
| 公告号 | CN117650072A |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | H01L21/66 |
| 权利人 | 广州润芯信息技术有限公司 |
| 发明人 | 郝强宇; 王日炎; 贺黉胤; 李前; 张昶立; 杨昆明 |
| 地址 | 广东省广州市黄埔区南翔二路23号5栋605、625、631房 |
摘要文本
本发明提出一种工艺检测方法、系统及电路，对第一样本进行工艺检测，得到工艺检测电压；对所述第一样本进行参考电压生成处理，得到工艺参考电压；对所述工艺检测电压和所述工艺参考电压，分别进行差分量化，得到样本工艺码；确定所述第一样本的工艺角偏离程度，得到工艺检测结果。本发明提出的一种工艺检测方法、系统及电路能够解决现有技术在检测芯片工艺器械复杂、流程复杂和易受外界因素干扰导致工艺检测结果准确度不高的问题，提高了检测结果的准确度。
专利主权项内容
1.一种工艺检测方法，其特征在于，包括：对第一样本进行工艺检测，得到工艺检测电压；对所述第一样本进行参考电压生成处理，得到工艺参考电压；对所述工艺检测电压和所述工艺参考电压，分别进行差分量化，得到样本工艺码；根据所述样本工艺码，确定所述第一样本的工艺角偏离程度，得到工艺检测结果。