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料盒内晶圆放置异常的处理方法、装置及晶圆控制系统
申请人信息
- 申请人:深圳市森美协尔科技有限公司
- 申请人地址:518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层
- 发明人: 深圳市森美协尔科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 料盒内晶圆放置异常的处理方法、装置及晶圆控制系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311839570.5 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN117497460A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 发明人 | 蒋亮 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层 |
摘要文本
深圳市森美协尔科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供了一种料盒内晶圆放置异常的处理方法、装置及晶圆控制系统，包括：获取来自光纤感应器的第一晶圆放置状态扫描结果，第一晶圆放置状态扫描结果用于指示料盒的第M层中的晶圆放置状态的扫描结果为晶圆放置状态异常；确定第M层中的晶圆的异常类型，异常类型用于指示第M层中的晶圆放置状态为斜片放置；获取料盒中除第M层外的其他层的第二晶圆放置状态扫描结果，第二晶圆放置状态扫描结果用于指示其他层中是否放置晶圆；根据异常类型和第二晶圆放置状态扫描结果向机械臂发送取片指令，以使得第M层中的晶圆在不碰触其他晶圆的情况下移出所述料盒。以降低拿取异常晶圆时料盒中晶圆的损坏率。。微信公众号马克 数据网
专利主权项内容
1.一种料盒内晶圆放置异常的处理方法，其特征在于，应用于晶圆控制系统的服务器，所述晶圆控制系统包括所述服务器、光纤感应器、晶圆、料盒和机械臂，所述料盒的层数为N层，每层用于盛放所述晶圆，所述N为正整数，所述方法包括：获取来自所述光纤感应器的第一晶圆放置状态扫描结果，所述第一晶圆放置状态扫描结果用于指示所述料盒的第M层中的晶圆放置状态的扫描结果为晶圆放置状态异常，所述M为小于或等于所述N的正整数；确定所述第M层中的晶圆的异常类型，所述异常类型用于指示所述第M层中的晶圆放置状态为斜片放置；获取所述料盒中除所述第M层外的其他层的第二晶圆放置状态扫描结果，所述第二晶圆放置状态扫描结果用于指示所述其他层中是否放置晶圆；根据所述异常类型和所述第二晶圆放置状态扫描结果向所述机械臂发送取片指令，所述取片指令用于指示所述机械臂移动所述料盒中的晶圆，以使得所述第M层中的晶圆在不碰触其他晶圆的情况下移出所述料盒。 马 克 数 据 网