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一种快速固化的纳米压印光刻胶及其制备方法
申请人信息
- 申请人:青岛天仁微纳科技有限责任公司
- 申请人地址:266000 山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房
- 发明人: 青岛天仁微纳科技有限责任公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种快速固化的纳米压印光刻胶及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410018090.0 |
| 申请日 | 2024/1/5 |
| 公告号 | CN117706871A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | G03F7/004 |
| 权利人 | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 发明人 | 冀然; 孙玉健 |
| 地址 | 山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房 |
摘要文本
本发明公开了一种快速固化的纳米压印光刻胶及制备方法。该纳米压印光刻胶包括改性环氧丙烯酸树脂和光引发剂。本发明通过改性剂与丙烯酸羟乙酯酯化反应、同时接枝体与丙烯酸羟乙酯酯化反应得到混合物，再将混合物与环氧植物油进行交联，之后与扩链剂进行交联得到改性环氧丙烯酸树脂。改性环氧丙烯酸树脂与光引发剂在紫外光的作用下制备得到光刻胶。与现有技术相比，本发明制备的快速固化的纳米压印光刻胶具备碱溶性好、折光指数高、精度高、热稳定性好等优点。
专利主权项内容
1.一种快速固化的纳米压印光刻胶，其特征在于，包括以下重量份组分：10-40份改性环氧丙烯酸树脂、1-5份光引发剂；所述改性环氧丙烯酸树脂由环氧植物油、改性剂、扩链剂、丙烯酸羟乙酯、接枝体制备而成。