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基于凹面镜的数字全息物体形貌测量装置及方法
申请人信息
- 申请人:山西科技学院
- 申请人地址:048000 山西省晋城市泽州县陵沁线666号
- 发明人: 山西科技学院
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于凹面镜的数字全息物体形貌测量装置及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410163728.X |
| 申请日 | 2024/2/5 |
| 公告号 | CN117705001A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | G01B11/24 |
| 权利人 | 山西科技学院 |
| 发明人 | 张娅雅 |
| 地址 | 山西省晋城市泽州县陵沁线666号 |
摘要文本
本发明公开了一种基于凹面镜的数字全息物体形貌测量装置及方法，属于光电检测技术领域。本发明包括步骤：激光器发出的激光经过扩束准直系统后变为平行光，通过分束镜将分为两束平行光波；其中一束平行光波被待测样品反射携带物信息变为物光波；过另一束平行光波被凹面镜反射变为球面参考光波；物光波与参考光波在探测器的靶面发生干涉后，通过探测器记录无透镜傅里叶变换离轴数字全息图；经过计算机处理无透镜傅里叶变换离轴数字全息图获得被测样品的相位信息，通过相位与光程的关系式获得被测样品的形貌高度。本发明系统结构简单，测量速度快，抗环境噪声能力强。
专利主权项内容
1.一种基于凹面镜的数字全息物体形貌测量方法，其特征在于，包括：平行光波获取步骤：通过分束镜将激光器发出的激光分为两束平行光波；物光波采集步骤：通过一束平行光波对被测样品进行照射获得物光波；参考光波采集步骤：通过另一束平行光波照射对凹面镜进行照射获得参考光波；数字全息图获取步骤：使所述物光波与所述参考光波在探测器的靶面发生干涉后，通过所述探测器记录干涉产生的无透镜傅里叶变换离轴数字全息图；形貌特征获取步骤：根据所述无透镜傅里叶变换离轴数字全息图获得所述被测样品的相位信息，根据所述相位信息通过相位与光程的关系式获得所述被测样品的形貌高度。