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谐波能量回收电路以及射频电源设备
申请人信息
- 申请人:深圳市瀚强科技股份有限公司
- 申请人地址:518055 广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园D1栋1101
- 发明人: 深圳市瀚强科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 谐波能量回收电路以及射频电源设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410175539.4 |
| 申请日 | 2024/2/8 |
| 公告号 | CN117728596A |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | H02J50/12 |
| 权利人 | 深圳市瀚强科技股份有限公司 |
| 发明人 | 王树晓; 林炯康; 陈亚梯 |
| 地址 | 广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园D1栋1101 |
摘要文本
本申请提供一种谐波能量回收电路以及射频电源设备，谐波能量回收电路包括谐波抑制单元和能量回收单元，谐波抑制单元与射频电源的输出端连接，能量回收单元包括变压器、整流模块以及储能模块，其中，变压器的第一绕组与谐波抑制单元发生谐振，或者谐波抑制单元单独发生谐振，且谐振频率与射频电源输出的交流电压的特定次谐波的频率对应，以使得射频电源输出的特定次谐波通过谐波抑制单元传导至变压器的第一绕组，并被感应到第二绕组，整流模块用于对感应到第二绕组的交流电压的特定次谐波进行整流后得到对应的直流电压，并通过直流电压对储能模块充能，而将谐波能量存储至储能模块。本申请可以有效地回收射频电源输出的谐波能量。
专利主权项内容
1.一种谐波能量回收电路，用于回收至少部分射频电源输出的谐波能量，其特征在于，包括：谐波抑制单元，与所述射频电源的输出端连接；能量回收单元，包括变压器、整流模块以及储能模块，所述变压器包括第一绕组和第二绕组，所述第一绕组与所述谐波抑制单元连接，所述第二绕组与所述整流模块连接，所述整流模块并与所述储能模块连接；其中，所述变压器的所述第一绕组与所述谐波抑制单元发生谐振，或者所述谐波抑制单元单独发生谐振，且谐振频率与所述射频电源输出的交流电压的特定次谐波的频率对应，以使得所述射频电源输出的所述特定次谐波通过所述谐波抑制单元传导至所述变压器的所述第一绕组，并被感应到所述第二绕组，所述整流模块用于对感应到所述第二绕组的交流电压的所述特定次谐波进行整流后得到对应的直流电压，并通过所述直流电压对所述储能模块充能，而将谐波能量存储至所述储能模块。